1.输出流量(ml/min):0-3000 2.输出压力(MPa):0-0.4 3.压力稳定性:< 0.001MPa 4.电源电压(V):AC 240±10% 50-60Hz 5.输入功率(w)<160 6.空气纯度:水含量0.0204ppm;二氧化碳含量0.039% 油类含量0.54ppm 7.无油两级净化 8.外形尺寸(L×W×H)mm:420×265×360