压缩机提供的压缩空气，经过空气系统净化处理，洁净的压缩空气进入吸附塔进行氧、氮分离，得到合格的氮气，其流程包含： 

空气压缩：在一定的压力下，变压吸附才能达到较佳的吸附效果，因此，环境空气必须经过压缩。通常采用的是螺杆式压缩机（中小型规模）和离心式压缩机（大型规模），小型装置也可以配套涡旋式或其他类型的空压机。由于分子筛为具有微孔组织的材料，如果压缩空气中携带有损害分子筛性能的杂质（如润滑油蒸气），则会造成微孔的堵塞或分子筛中毒，从而降低分子筛效率，影响设备的产量，而这种损害往往是不可恢复的。因此选择品质高，含油量小或无油空气压缩机，是保证系统正常运行的关键因素之一。 PEM制氢设备，水电解制氢设备，纯水电解氢气发生器

空气净化：由于压缩空气中含有水、颗粒、油，这些杂质对分子筛有破坏作用，因此，必须用空气处理系统（冷干机、吸干机及过滤器等），通过降温除去油水，达到保护分子筛的目的。选用高品质的空气处理系统同样是保证制氮装置正常运行的关键因素之一。 

变压吸附制氮：是整个过程的核心和关键环节。通过前述的四个工艺过程，可以生产出合格的产品氮气，并经氮气缓冲罐平抑压力波动后，提供给用户端使用。

由于制氮变压吸附工艺长期、高频率的压力交变，无论是升压过程、均压过程，还是解吸再生排放过程，无疑对吸附剂进行着高强度的气流冲刷。因此，如对这些过程的控制不当，分子筛极易出现粉化。这是此种工艺需要解决的关键技术。