1、极致高纯产气,严控杂质,匹配半导体纳米级制程
设备采用纯水电解制氢工艺,全程无碱、无电解质添加,从源头杜绝盐分、金属离子、碳化物等杂质污染。搭配多级高精度深度纯化系统、精密过滤单元,可稳定输出99.9999%电子级超高纯氢气,配套提纯器最高可实现9N级超纯氢气输出,彻底规避水汽、氮、甲烷等微量杂质导致的金刚石晶体缺陷、晶圆氧化、镀膜不均等问题,全面满足四代半导体精密沉积、外延生长、退火保护等高精尖制程用气标准,大幅提升产品良品率。
2、全域可调工况,7×24h不间断稳定运行,适配量产节奏
设备支持0-100%负荷无级精准可调,产氢流量、输出压力可根据产线用气需求动态自适应调节,输出压力区间0-3.0MPa宽域可调,完美适配半导体产线用气场景。核心电解槽采用高强度防腐结构设计,经过上万小时工况验证,具备极强的运行稳定性与抗衰减能力,可实现全年7×24小时连续不间断稳产,启停响应快速、压力流量波动极小,彻底解决传统供气方式断供、压力不稳、纯度波动等行业痛点,满足工厂连续量产生产节奏。
3、全洁净材质+防爆安全设计,适配无尘车间工况
设备气路、管路、阀门、接头全部采用316L不锈钢洁净材质,核心阀门选用高端优质防爆阀体,耐腐蚀、无析出、无吸附,杜绝管路二次污染,适配半导体无尘洁净生产环境。整机可采用分体式防爆结构设计,电控系统与产气区域物理隔离,配备超压、超温、泄漏、缺水、过载多重智能联锁保护机制,搭载实时水质监测、气路检漏、故障自动报警停机功能,全程保障设备安全、稳定、合规运行。
4、节能低耗+智能运维,降本增效适配长期生产
依托自研高活性催化电极,设备电解效率高、能耗损耗低,常规工况下耗水量低、运行能耗优异,相比传统制氢设备大幅降低长期运维成本。整机搭载智能运维系统,可实时远程监控产气纯度、流量、压力、水质、设备温度等核心参数,数据全程可追溯,支持故障提前预判、智能预警,无需专人值守,实现自动化、智能化运维,适配厂区远距离、无人化值守生产需求。
5、模块化集成设计,交付高效,适配异地标杆项目落地
设备采用高度预制化、模块化集成设计,整机结构紧凑、安装便捷,出厂前完成全工况调试,大幅缩短现场安装、调试、验收周期。公司自有规模化生产基地与成熟供应链体系,全流程可视化排产管控,针对项目定制专属生产方案、前置技术对接,严格把控交付节点,保障设备按期进场、快速投产。
6、全生命周期兜底售后,偏远厂区运维无忧
建立远程监控+本地化驻场+全国快速上门三级售后体系:设备实时在线监测,全天候守护设备运行;区域服务网点就近响应,备品备件前置储备,杜绝售后等待周期长的问题;免费提供安装调试、操作人员专项培训、定期巡检、终身技术升级与维保服务,全周期兜底保障,彻底解决企业后顾之忧。










